La cible est emballée dans un double sac plastique sous vide.Nous préconisons que les utilisateurs stockent la cible, qu'elle soit en métal ou en céramique, dans un emballage sous vide, en particulier la cible de liaison doit être stockée sous vide pour éviter que l'oxydation de la couche de liaison n'affecte la qualité de la liaison. Quant à l'emballage des cibles métalliques, nous insistons sur le fait que le l'exigence minimale est de les emballer dans des sacs en plastique propres.Ci-dessous l'auteur de Beijing Richmat pour partager avec vous quelles sont les compétences en matière de stockage et de maintenance des cibles en alliage
Les compétences de maintenance concernant la cible en alliage sont les suivantes :
Afin d'éviter les courts-circuits et les arcs dus à une cavité impure dans le processus de pulvérisation, il est nécessaire de retirer le centre de la piste de pulvérisation et les deux côtés de l'accumulation de pulvérisation, ce qui aide également les utilisateurs à continuer à atteindre la densité de puissance maximale de pulvérisation.
Étape 1 : Nettoyer avec un chiffon non polaire imbibé d'acétone ;
Étape 2 : nettoyer avec de l'alcool similaire à l'étape 1 ;
Étape 3 : laver à l'eau déminéralisée.Après nettoyage à l’eau déminéralisée, la cible est placée dans une étuve pour sécher à 100 degrés Celsius pendant 30 minutes.Les cibles en oxyde et en céramique sont nettoyées avec un « chiffon sans flanelle ».
Étape 4 : après avoir retiré la zone poussiéreuse, de l'argon avec un gaz à haute pression et à faible humidité est utilisé pour rincer la cible afin d'éliminer toutes les particules d'impuretés susceptibles de former des arcs dans le système de pulvérisation.
Heure de publication : 07 juin 2022