Le polysilicium est un matériau cible important pour la pulvérisation.L'utilisation de la méthode de pulvérisation magnétron pour préparer le SiO2 et d'autres films minces peut donner au matériau de la matrice une meilleure résistance optique, diélectrique et à la corrosion, ce qui est largement utilisé dans les industries des écrans tactiles, de l'optique et autres.
Le processus de coulée de longs cristaux consiste à réaliser progressivement la solidification directionnelle du silicium liquide du bas vers le haut en contrôlant avec précision la température du réchauffeur dans le champ chaud du four à lingots et la dissipation thermique du matériau d'isolation thermique, et le La vitesse de solidification des cristaux longs est de 0,8 à 1,2 cm/h.En même temps, dans le processus de solidification directionnelle, l'effet de ségrégation des éléments métalliques dans les matériaux en silicium peut être réalisé, la plupart des éléments métalliques peuvent être purifiés et une structure uniforme de grains de silicium polycristallin peut être formée.
Le polysilicium coulé doit également être intentionnellement dopé au cours du processus de production, afin de modifier la concentration d'impuretés accepteurs dans le silicium fondu.Le principal dopant du polysilicium coulé de type P dans l'industrie est l'alliage maître silicium-bore, dans lequel la teneur en bore est d'environ 0,025 %.La quantité de dopage est déterminée par la résistivité cible de la plaquette de silicium.La résistivité optimale est de 0,02 ~ 0,05 Ω • cm et la concentration de bore correspondante est d'environ 2 × 1014 cm-3. Cependant, le coefficient de ségrégation du bore dans le silicium est de 0,8, ce qui montrera un certain effet de ségrégation dans le processus de solidification directionnelle, qui c'est-à-dire que l'élément bore est distribué selon un gradient dans la direction verticale du lingot, et la résistivité diminue progressivement du bas vers le haut du lingot.
Heure de publication : 26 juillet 2022