Nous savons tous qu'il existe de nombreuses spécifications de cible de pulvérisation,qui a awlarge gamme d'applications.TLes variétés cibles couramment utilisées dans différentes industries sont également différentes, venons-en aujourd'hui avec PékinRichmat Ensemble pour en savoir plus sur la classification de l'industrie cible de pulvérisation.
一、Définition du matériau cible de pulvérisation
La pulvérisation cathodique est l’une des principales technologies de préparation de matériaux en couches minces.Il utilise les ions générés par la source d'ions pour former un faisceau d'ions avec une énergie à grande vitesse grâce à une agrégation accélérée sous vide. La surface solide bombardée, les ions et les atomes de surface solide ont un échange d'énergie cinétique, de sorte que les atomes sur la surface solide quittent le solide et se déposent dessus. Sur la surface du substrat, le solide bombardé est la matière première pour préparer le film déposé par pulvérisation cathodique, connu sous le nom de cible de pulvérisation.
二、Classification des domaines d'application des matériaux cibles de pulvérisation cathodique
1、Cible semi-conductrice
(1)Matériau couramment utilisé:Les cibles courantes dans ce domaine comprennent le tantale, le cuivre, le titane, l'aluminium, l'or, le nickel et d'autres métaux à point de fusion élevé.
(2)Usage：Fondamentalement, utiliser les données originales cruciales du circuit intégré
(3)Exigences fonctionnelles：Les exigences techniques en matière de pureté, de taille et d'intégration sont élevées.
2、Matériau cible pour affichage plan
(1)Matériau couramment utilisé：Les cibles couramment utilisées dans ce domaine comprennent l'aluminium/cuivre/molybdène/nickel/niobium/silicium/chrome, etc.
(2)Usage：Ce type de matériau cible est principalement utilisé dans divers types de films de grande surface, de télévision et d'ordinateurs portables.。
(3)Exigences fonctionnelles：Exigences élevées en matière de pureté, de grande surface, d'uniformité, etc.
3、Cibles pour cellules solaires
(1)Matériau couramment utilisé：Les cibles aluminium/cuivre/molybdène/chrome/ITO/Ta sont couramment utilisées dans les cellules solaires.
(2)Usage：Principalement utilisé dans la « couche de fenêtre », la couche barrière, l'électrode et le film conducteur et d'autres occasions。
(3)Exigences fonctionnelles：Exigence de compétences élevées, large gamme d'utilisation.
4、Matériel cible pour le stockage des informations
(1)Matériau couramment utilisé：Le stockage d'informations est couramment utilisé avec des matériaux cibles en cobalt/nickel/ferroalliage/chrome/tellure/sélénium.
(2)Usage：Le matériau cible ici est principalement utilisé pour la tête, la couche intermédiaire et la couche inférieure du cd-rom et du CD..
(3)Exigences fonctionnelles：Une densité de stockage élevée et une vitesse de transmission élevée sont requises.
5、Matériau cible pour la modification de l'outil
(1)Matériau couramment utilisé：Modification d'outils en alliage de titane/zirconium/treillis/chrome-aluminium et autres cibles.
(2)Usage:Il est généralement utilisé pour améliorer l’apparence.
(3)Exigences fonctionnelles：Exigences fonctionnelles élevées, longue durée de vie.
6、Matériaux cibles pour appareils électroniques
(1)Matériau couramment utilisé:Les cibles en alliage d'aluminium/siliciure sont couramment utilisées dans les appareils électroniques
(2)Usage：Généralement utilisé pour les résistances à film et les condensateurs.
(3)Exigences fonctionnelles：Petite taille, stabilité, faible coefficient de température de résistance
Heure de publication : 21 avril 2022