La cible a un large marché, un domaine d'application et un développement important à l'avenir.Afin de vous aider à mieux comprendre les fonctions de la cible, ci-dessous l'ingénieur RSM présentera brièvement les principales exigences fonctionnelles de la cible.
Pureté : la pureté est l'un des principaux indicateurs fonctionnels de la cible, car la pureté de la cible a un grand impact sur la fonction du film.Cependant, dans la pratique, les exigences de pureté de la cible sont également différentes.Par exemple, avec le développement rapide de l’industrie microélectronique, la taille de la plaquette de silicium est passée de 6″ à 8″ à 12″, et la largeur du câblage est réduite de 0,5 um à 0,25 um, 0,18 um ou même 0,13 um.Auparavant, 99,995 % de la pureté cible pouvait répondre aux exigences du processus de 0,35 um, tandis que la préparation de lignes de 0,18 um nécessite 99,999 % voire 99,9999 % de la pureté cible.
Teneur en impuretés : les impuretés dans les solides cibles ainsi que l'oxygène et la vapeur d'eau dans les pores sont les principales sources de pollution des films déposés.Les cibles destinées à différents objectifs ont des exigences différentes pour différentes teneurs en impuretés.Par exemple, les cibles en aluminium pur et en alliage d'aluminium utilisées dans l'industrie des semi-conducteurs ont des exigences particulières en matière de teneur en métaux alcalins et en éléments radioactifs.
Densité : afin de réduire les pores du solide cible et d'améliorer la fonction du film de pulvérisation, la cible doit généralement avoir une densité élevée.La densité de la cible affecte non seulement la vitesse de pulvérisation, mais également les fonctions électriques et optiques du film.Plus la densité cible est élevée, meilleure est la fonction du film.De plus, la densité et la résistance de la cible sont améliorées afin que la cible puisse mieux accepter la contrainte thermique lors du processus de pulvérisation.La densité est également l'un des indicateurs fonctionnels clés de la cible.
Heure de publication : 20 mai 2022