Les bâtiments modernes ont commencé à utiliser de grandes surfaces d’éclairage en verre.Cet aspect nous donne des pièces plus lumineuses et des horizons plus larges.D'autre part, la chaleur transmise à travers le verre est beaucoup plus élevée que celle transmise par les murs environnants, et la consommation énergétique de l'ensemble du bâtiment augmente considérablement..
Comparé au taux d'utilisation de plus de 90 % du verre à faible rayonnement dans les pays développés, le taux de pénétration du verre à faible émissivité en Chine n'est que d'environ 12 % et la Chine a encore beaucoup d'espace pour se développer.Cependant, par rapport à verre ordinaire et verre low-E en ligne, le coût de production du verre LowE hors ligne est élevé, ce qui limite l'application dans une certaine mesure. Les entreprises nationales de transformation du verre ont l'obligation de réduire continuellement le coût de production des produits de revêtement, d'accélérer la mise en œuvre, économiser de l'énergie, améliorer l'environnement et parvenir à un développement social durable.
1、Influence de la forme de la cible
De grandes zones de revêtement utilisent souvent un matériau cible en fonction de sa forme, notamment l'orientation planaire et l'orientation rotationnelle.Les cibles planaires générales comprennent la cible en cuivre, la cible en argent,NCible i-Cr et cible graphite.La cible rotative générale comprend une cible en zinc-aluminium, une cible en zinc-étain, une cible en silicium-aluminium, une cible en étain, une cible en oxyde de titane, une cible en oxyde de zinc-aluminium, etc. La forme de la cible affectera la stabilité et les propriétés du film du revêtement par pulvérisation magnétron, ainsi que l'utilisation. le taux de cible est très élevé.Après avoir modifié la planification de la forme de la cible, la qualité et la puissance de production du revêtement peuvent être améliorées et les coûts peuvent être économisés.
2、Influence de la densité relative et de la clairance de la cible
La densité relative dans la cible est le rapport entre la densité pratique et la densité théorique de la cible, la densité théorique de la cible à composant unique est la densité cristalline et la densité théorique de la cible en alliage ou en mélange est calculée selon la valeur théorique. densité de chaque élément et proportion dans l'alliage ou le mélange..La disposition cible du pulvérisateur thermique est poreuse, hautement oxygénée (même avec une pulvérisation sous vide, la production d'oxydes et de composés nitreux dans la cible en alliage est inévitable), et l'apparence est grise et manque d'éclat métallique.Les impuretés adsorbées et l'humidité sont les principales sources de pollution.
3、Influence de la taille des particules cibles et de la direction des cristaux
Dans le même poids de cible, la cible à petite taille de particules est plus rapide que la cible à grande taille de particules.Cela est principalement dû au fait que la limite des particules lors du processus d'éclaboussure est facile à envahir, plus la limite des particules est grande, plus la formation du film est rapide.La taille des particules affecte non seulement la vitesse de pulvérisation, mais affecte également la qualité de la formation du film. Par exemple, dans le processus de production des produits EowE, NCr agit comme couche de maintenance de la couche réfléchissante infrarouge Ag, et sa qualité a une grande influence sur produits de revêtement.En raison du coefficient d'extinction élevé de la couche de film NiCr, elle est généralement mince (environ 3 nm). Si la taille des particules est trop grande, le temps de pulvérisation devient plus court, la densification de la couche de film s'aggrave, l'effet de maintien de la couche d'Ag diminue et le décapage par oxydation des produits de revêtement est provoqué.
conclusion
La planification de la forme du matériau cible affecte principalement le taux d'utilisation du matériau cible.Une planification raisonnable de la taille peut améliorer le taux d'utilisation du matériau cible et réduire les coûts. Plus la taille des particules est petite, plus la vitesse de revêtement est rapide, meilleure est l'uniformité.Plus la pureté et la densité sont élevées, plus la porosité est faible, meilleure est la qualité du film et plus la probabilité de réduction des scories de décharge est faible.
Heure de publication : 27 avril 2022