La cible en alliage de titane par pulvérisation et le titane métallique sont composés de titane, les informations sont donc à peu près les mêmes, mais la différence entre les deux réside principalement dans le fait que la cible en alliage de titane par pulvérisation est constituée de titane métallique de plusieurs manières, et le titane est présent dans la nature comme un minerai de titane.Les cibles en alliage de titane peuvent être largement utilisées dans de nombreuses catégories professionnelles.Maintenant, l'auteur de Beijing Richmat a résumé plusieurs cibles courantes en alliage de titane en termes d'utilisation de la situation pour nous donner une introduction détaillée.
一、Cibles Ti pour circuits intégrés
Les exigences relatives à la pulvérisation de cibles en alliage de titane sont différentes entre les circuits non intégrés et les circuits intégrés.En général, les circuits intégrés ont des exigences plus élevées en matière de données de revêtement, telles qu'une pureté plus élevée, une taille de grain plus petite et une précision d'échelle plus précise. La pureté des cibles en titane dans les circuits intégrés est supérieure à 99,995 %, ce qui est supérieur à celui utilisé dans les circuits intégrés non intégrés. circuits, indiquant que les différentes utilisations des exigences en matière de cibles en titane sont très différentes.
二、Cible Ti pour écran plat
Les cibles en alliage de titane utilisées dans les écrans plats comprennent l'affichage à cristaux liquides, l'affichage à plasma, l'affichage à électroluminescence et l'affichage à émission de champ. Le film mince de l'écran plat est une méthode de formation par pulvérisation, Al, Cu, Ti et Mo sont les principales cibles de pulvérisation métallique pour écran plat. écrans. La pureté des cibles en alliage de titane pour les écrans plats est généralement supérieure à 99,9 %.
三、Cibles Ti pour matériaux décoratifs
Le matériau cible en alliage de titane de haute pureté a une excellente résistance à la corrosion de l'air, une utilisation à long terme dans l'air ne change pas de couleur, pour garantir que la couleur d'origine du titane et le contact humain ne sont pas allergiques et d'autres excellentes caractéristiques.Par conséquent, le titane de haute pureté peut également être utilisé comme matériaux décoratifs, ces dernières années, tels que des bracelets, des montres, des lunettes et d'autres ornements dont la pureté du titane a atteint le niveau 5N.
四、Cibles Ti pour les systèmes de pompage à ultra-vide
En tant que métal chimiquement actif, le titane peut réagir avec de nombreux éléments et composés à haute température.La cible en alliage de titane de haute pureté a une forte capacité d'adsorption pour les gaz actifs (tels que O2, N2, CO, CO2, vapeur d'eau supérieure à 650 °C), et le film de Ti s'évaporant sur la paroi de la pompe peut former une surface avec des performances d'adsorption élevées. .Cette propriété rend le Ti largement utilisé comme getter dans les systèmes d'extraction de gaz sous vide ultra poussé. S'il est utilisé pour améliorer la pompe, la pompe ionique de pulvérisation, etc., il peut rendre la pression de fonctionnement ultime de la pompe ionique de pulvérisation aussi basse que 10-9PA.
Heure de publication : 25 avril 2022