Les métaux réfractaires au tungstène et les alliages de tungstène présentent les avantages d'une stabilité à haute température, d'une résistance élevée à la migration électronique et d'un coefficient d'émission électronique élevé.Les cibles en tungstène et en alliage de tungstène de haute pureté sont principalement utilisées pour fabriquer des électrodes de grille, des câbles de connexion et des couches barrières de diffusion de circuits intégrés semi-conducteurs.Ils ont des exigences très élevées en matière de pureté, de teneur en impuretés, de densité, de granulométrie et de structure granulaire uniforme des matériaux.Jetons un coup d'œil aux facteurs influençant la préparation d'une cible en tungstène de haute puretéby Rich Special Material Co., Ltd.
I. Effet de la température de frittage
Le processus de formation de l’embryon cible en tungstène se fait généralement par pression isostatique à froid.Le grain de tungstène va croître lors du frittage.La croissance du grain de tungstène comblera l'espace entre les limites des cristaux, augmentant ainsi la densité de la cible de tungstène.Avec l'augmentation des temps de frittage, l'augmentation de la densité de la cible en tungstène ralentit progressivement.La raison principale est que la qualité du matériau cible en tungstène n’a pas beaucoup changé après plusieurs processus de frittage.Étant donné que la plupart des vides dans la limite des cristaux sont remplis par des cristaux de tungstène, le taux de changement de taille global de la cible en tungstène est très faible après chaque processus de frittage, ce qui entraîne un espace limité pour l'augmentation de la densité de la cible en tungstène.Au fur et à mesure du frittage, de gros grains de tungstène remplissent les vides, ce qui donne une cible plus dense et de plus petite taille.
2. Effet dehmanger conservation Temps
À la même température de frittage, la compacité du matériau cible en tungstène est améliorée avec l'augmentation du temps de frittage.Avec l'augmentation du temps de frittage, la taille des grains de tungstène augmente et avec l'allongement du temps de frittage, le facteur de croissance de la taille des grains ralentit progressivement.Cela montre que l'augmentation du temps de frittage peut également améliorer les performances de la cible en tungstène.
3. Effet du roulement sur la cible Pperformance
Afin d'améliorer la densité des matériaux cibles en tungstène et d'obtenir la structure de traitement des matériaux cibles en tungstène, le laminage à température moyenne des matériaux cibles en tungstène doit être effectué en dessous de la température de recristallisation.Lorsque la température de laminage de l'ébauche cible est élevée, la structure fibreuse de l'ébauche cible est plus épaisse, tandis que celle de l'ébauche cible est plus fine.Lorsque le rendement du laminage à chaud est supérieur à 95 %.Bien que la différence de structure des fibres causée par les différences de grain d'origine de frittage ou de température de laminage soit éliminée, une structure de fibres plus homogène sera formée à l'intérieur de la cible, de sorte que plus le taux de traitement de laminage à chaud est élevé, meilleures sont les performances de la cible.
Heure de publication : 05 mai 2022