Les matériaux cibles en niobium sont principalement utilisés dans les industries de revêtement optique, de revêtement de matériaux d'ingénierie de surface et de revêtement telles que la résistance à la chaleur, la résistance à la corrosion et la conductivité élevée.Dans le domaine du revêtement optique, il est principalement appliqué aux produits optiques ophtalmiques, aux lentilles, à l'optique de précision, au revêtement de grande surface, au revêtement 3D et à d'autres aspects.
Le matériau cible en niobium est généralement appelé cible nue.Il est d'abord soudé à la cible arrière en cuivre, puis pulvérisé pour déposer des atomes de niobium sous forme d'oxydes sur le matériau du substrat, obtenant ainsi un revêtement par pulvérisation cathodique.Avec l'approfondissement et l'expansion continus de la technologie et des applications des cibles de niobium, les exigences en matière d'uniformité de la microstructure cible du niobium ont augmenté, se manifestant principalement sous trois aspects : le raffinement de la taille des grains, l'absence d'orientation évidente de la texture et l'amélioration de la pureté chimique.
La répartition uniforme de la microstructure et des propriétés dans toute la cible est cruciale pour garantir les performances de pulvérisation des matériaux cibles en niobium.La surface des cibles en niobium rencontrées dans la production industrielle présente généralement des motifs réguliers, ce qui affecte grandement les performances de pulvérisation des cibles.Comment améliorer le taux d’utilisation des cibles ?
Grâce à des recherches, il a été constaté que la teneur en impuretés (pureté cible) est un facteur important affectant la pureté.La composition chimique des matières premières est inégale et les impuretés sont enrichies.Après un traitement de laminage ultérieur, des motifs réguliers se forment sur la surface du matériau cible en niobium ;L'élimination de la répartition inégale des composants des matières premières et de l'enrichissement en impuretés peut éviter la formation de motifs réguliers à la surface des cibles en niobium.L'influence de la taille des grains et de la composition structurelle sur le matériau cible peut être presque négligeable.
Heure de publication : 19 juin 2023