En raison de la stabilité à haute température, de la résistance élevée à la migration des électrons et du coefficient d'émission électronique élevé du tungstène réfractaire et des alliages de tungstène, les cibles en tungstène et en alliage de tungstène de haute pureté sont principalement utilisées pour la fabrication d'électrodes de grille, de câblage de connexion, de couches barrières de diffusion, etc. circuits intégrés et ont des exigences élevées en matière de pureté, de teneur en éléments d'impuretés, de densité, de granulométrie et d'uniformité de la structure des grains des matériaux.Examinons maintenant les facteurs qui affectent la préparation d'une cible en tungstène de haute pureté.
1、Effet de la température de frittage
Le processus de formation de l'embryon cible de tungstène est généralement réalisé par pressage isostatique à froid.Le grain de tungstène va croître pendant le processus de frittage.La croissance du grain de tungstène comblera l'espace entre les joints de grains, améliorant ainsi la densité de la cible de tungstène.Avec l'augmentation des temps de frittage, l'augmentation de la densité cible en tungstène ralentit progressivement.La raison principale est qu’après plusieurs frittages, la qualité de la cible en tungstène n’a pas beaucoup changé.Étant donné que la plupart des vides dans la limite des grains sont remplis de cristaux de tungstène, après chaque frittage, le taux de changement de taille global de la cible en tungstène a été très faible, ce qui a entraîné un espace limité pour l'augmentation de la densité de la cible en tungstène.Avec le processus de frittage, les grains de tungstène développés sont remplis dans les vides, ce qui entraîne une densité plus élevée de la cible avec une taille de particule plus petite.
2、Effet du temps de détention
A la même température de frittage, la compacité de la cible en tungstène sera améliorée avec la prolongation du temps de maintien au frittage.Avec la prolongation du temps de maintien, la taille des grains de tungstène augmentera, et avec la prolongation du temps de maintien, les temps de croissance de la taille des grains ralentiront progressivement, ce qui signifie qu'augmenter le temps de maintien peut également améliorer les performances du cible en tungstène.
3、Effet du roulement sur les propriétés cibles
Afin d'améliorer la densité du matériau cible en tungstène et d'obtenir la structure de traitement du matériau cible en tungstène, le laminage à température moyenne du matériau cible en tungstène doit être effectué en dessous de la température de recristallisation.Si la température de laminage de la billette cible est élevée, la structure fibreuse de la billette cible sera grossière, et vice versa.Lorsque le taux de roulement à chaud atteint plus de 95 %.Bien que la différence de structure des fibres causée par différents grains d'origine ou différentes températures de laminage soit éliminée, la structure interne de la cible formera une structure de fibres relativement uniforme, de sorte que plus le taux de traitement de laminage à chaud est élevé, meilleures sont les performances de la cible.
Heure de publication : 15 février 2023