Le matériau cible utilisé dans l'industrie du stockage de données nécessite une pureté élevée, et les impuretés et les pores doivent être minimisés pour éviter la génération de particules d'impuretés lors de la pulvérisation cathodique.Le matériau cible utilisé pour les produits de haute qualité nécessite que la taille de ses particules cristallines soit petite et uniforme, et qu'elle n'ait aucune orientation cristalline.Ci-dessous, examinons les exigences de l'industrie du stockage optique pour le matériau cible ?
1. Pureté
Dans les applications pratiques, la pureté des matériaux cibles varie en fonction des différentes industries et exigences.Cependant, globalement, plus la pureté du matériau cible est élevée, meilleures sont les performances du film pulvérisé.Par exemple, dans l'industrie du stockage optique, la pureté du matériau cible doit être supérieure à 3N5 ou 4N.
2. Teneur en impuretés
Le matériau cible sert de source cathodique lors de la pulvérisation cathodique, et les impuretés contenues dans le solide ainsi que l'oxygène et la vapeur d'eau dans les pores sont les principales sources de pollution lors du dépôt de films minces.De plus, il existe des exigences particulières pour les cibles destinées à différentes utilisations.En prenant l'exemple de l'industrie du stockage optique, la teneur en impuretés dans les cibles de pulvérisation doit être contrôlée à un niveau très bas pour garantir la qualité du revêtement.
3. Taille des grains et répartition granulométrique
Habituellement, le matériau cible a une structure polycristalline, avec des tailles de grains allant du micromètre au millimètre.Pour des cibles de même composition, la vitesse de pulvérisation des cibles à grains fins est plus rapide que celle des cibles à grains grossiers.Pour les cibles présentant des différences de granulométrie plus faibles, l’épaisseur du film déposé sera également plus uniforme.
4. Compacité
Afin de réduire la porosité du matériau cible solide et d'améliorer les performances du film, il est généralement requis que le matériau cible de pulvérisation ait une densité élevée.La densité du matériau cible dépend principalement du processus de préparation.Le matériau cible fabriqué par la méthode de fusion et de coulée peut garantir qu'il n'y a pas de pores à l'intérieur du matériau cible et que la densité est très élevée.
Heure de publication : 18 juillet 2023