Nous devons être très familiers avec la cible maintenant, maintenant le marché cible augmente également, voici quelle est la principale performance de la cible de pulvérisation partagée par l'éditeur de RSM
La pureté
La pureté du matériau cible est l'un des principaux indices de performance, car la pureté du matériau cible a une grande influence sur les performances du film mince.Cependant, dans la pratique, les exigences de pureté des matériaux cibles ne sont pas les mêmes.Par exemple, avec le développement rapide de l'industrie microélectronique, la taille des puces de silicium est passée de 6", 8" à 12", et la largeur du câblage a été réduite de 0,5 um à 0,25 um, 0,18 um ou même 0,13 um.Auparavant, la pureté du matériau cible à 99,995 % pouvait répondre aux exigences du processus de 0,35umIC.La pureté du matériau cible est de 99,999% voire 99,9999% pour la préparation de lignes 0,18um.
Teneur en impuretés
Les impuretés présentes dans le solide cible ainsi que l'oxygène et la vapeur d'eau présents dans les pores sont les principales sources de pollution liées au dépôt du film.Les matériaux cibles destinés à différents usages ont des exigences différentes pour différentes teneurs en impuretés.Par exemple, les cibles en aluminium pur et en alliage d'aluminium utilisées dans l'industrie des semi-conducteurs ont des exigences particulières concernant la teneur en métaux alcalins et en éléments radioactifs.
La densité
Afin de réduire la porosité du solide cible et d’améliorer les performances du film de pulvérisation cathodique, une densité élevée de la cible est généralement requise.La densité de la cible affecte non seulement la vitesse de pulvérisation mais également les propriétés électriques et optiques du film.Plus la densité cible est élevée, meilleures sont les performances du film.De plus, l'augmentation de la densité et de la résistance de la cible permet à celle-ci de mieux résister aux contraintes thermiques lors du processus de pulvérisation.La densité est également l'un des principaux indices de performance de la cible.
Taille des grains et distribution granulométrique
La cible est généralement polycristalline avec une granulométrie allant du micromètre au millimètre.Pour une même cible, la vitesse de pulvérisation de la cible à petits grains est plus rapide que celle de la cible à gros grains.La répartition de l'épaisseur des films déposés par cible de pulvérisation avec une différence de granulométrie plus petite (distribution uniforme) est plus uniforme.
Heure de publication : 04 août 2022