Les cibles en molybdène pulvérisées ont été largement utilisées dans l'industrie électronique, les cellules solaires, le revêtement du verre et d'autres domaines en raison de leurs avantages inhérents.Avec le développement rapide des technologies modernes en matière de miniaturisation, d'intégration, de numérisation et d'intelligence, l'utilisation de cibles en molybdène continuera d'augmenter et les exigences de qualité à leur égard deviendront également de plus en plus élevées.Nous devons donc trouver des moyens d’améliorer le taux d’utilisation des cibles en molybdène.Désormais, l'éditeur de RSM présentera plusieurs méthodes pour améliorer le taux d'utilisation des cibles de molybdène par pulvérisation pour tous
1. Ajoutez une bobine électromagnétique au verso
Afin d'améliorer le taux d'utilisation de la cible de molybdène pulvérisée, une bobine électromagnétique peut être ajoutée au verso de la cible de molybdène de pulvérisation magnétron planaire, et le champ magnétique à la surface de la cible de molybdène peut être augmenté en augmentant le courant de la bobine électromagnétique, de manière à améliorer le taux d'utilisation de la cible en molybdène.
2. Sélectionnez le matériau cible rotatif tubulaire
Par rapport aux cibles plates, le choix d’une structure de cible rotative tubulaire met en évidence ses avantages substantiels.Généralement, le taux d'utilisation des cibles plates n'est que de 30 à 50 %, tandis que le taux d'utilisation des cibles rotatives tubulaires peut atteindre plus de 80 %.De plus, lors de l'utilisation de la cible de pulvérisation magnétron à tube creux rotatif, étant donné que la cible peut tourner autour de l'ensemble magnétique à barre fixe tout le temps, il n'y aura pas de redéposition sur sa surface, de sorte que la durée de vie de la cible rotative est généralement plus de 5 fois plus longue. que celui de la cible de l'avion.
3. Remplacez par un nouvel équipement de pulvérisation
La clé pour améliorer le taux d’utilisation des matériaux cibles est d’achever le remplacement de l’équipement de pulvérisation.Pendant le processus de pulvérisation du matériau cible de pulvérisation de molybdène, environ un sixième des atomes de pulvérisation se déposeront sur la paroi ou le support de la chambre à vide après avoir été touchés par des ions hydrogène, augmentant ainsi le coût du nettoyage de l'équipement sous vide et les temps d'arrêt.Ainsi, le remplacement d’un nouvel équipement de pulvérisation peut également contribuer à améliorer le taux d’utilisation des cibles de pulvérisation en molybdène.
Heure de publication : 24 mai 2023