Le but du nettoyage de la cible est d’éliminer les éventuelles poussières ou saletés présentes à la surface de la cible.Désormais, l'éditeur de Rich Special Material Co., LTD. (RSM) partagera avec vous les quatre étapes pour nettoyer les cibles métalliques :
La première étape consiste à nettoyer avec un chiffon doux non pelucheux imbibé d’acétone ;
La deuxième étape est similaire à la première étape, le nettoyage à l’alcool ;
Étape 3 : nettoyer à l'eau déminéralisée.Après avoir été lavée à l'eau déminéralisée, la cible est placée dans une étuve et séchée à 100 ℃ pendant 30 minutes.Les cibles en oxyde et en céramique doivent être nettoyées avec un « chiffon non pelucheux ».
La quatrième étape consiste à laver la cible avec de l'argon avec un gaz à haute pression et à faible teneur en eau pour éliminer toutes les particules d'impuretés susceptibles de former un arc dans le système de pulvérisation cathodique.
Remarque : lors de la manipulation de la cible, veuillez porter des gants d'entretien propres et non pelucheux pour éviter absolument tout contact direct avec la cible à la main.
Heure de publication : 24 juin 2022