Récemment, de nombreux amis ont posé des questions sur les caractéristiques des cibles de pulvérisation en molybdène.Dans l'industrie électronique, afin d'améliorer l'efficacité de la pulvérisation cathodique et d'assurer la qualité des films déposés, quelles sont les exigences relatives aux caractéristiques des cibles de pulvérisation cathodique en molybdène ?Les experts techniques de RSM vont maintenant nous l'expliquer.
1. Pureté
Une grande pureté est une exigence caractéristique de base de la cible de pulvérisation de molybdène.Plus la pureté de la cible en molybdène est élevée, meilleures sont les performances du film pulvérisé.Généralement, la pureté de la cible de pulvérisation de molybdène doit être d'au moins 99,95 % (fraction massique, la même ci-dessous).Cependant, avec l'amélioration continue de la taille du substrat en verre dans l'industrie LCD, la longueur du câblage doit être allongée et la largeur de ligne doit être plus fine.Afin de garantir l'uniformité du film et la qualité du câblage, la pureté de la cible de pulvérisation en molybdène doit également être augmentée en conséquence.Par conséquent, selon la taille du substrat de verre pulvérisé et l'environnement d'utilisation, la pureté de la cible de pulvérisation en molybdène doit être comprise entre 99,99 % et 99,999 % ou même plus.
La cible de pulvérisation en molybdène est utilisée comme source cathodique dans la pulvérisation.Les impuretés dans les solides ainsi que l'oxygène et la vapeur d'eau dans les pores sont les principales sources de pollution des films déposés.De plus, dans l'industrie électronique, étant donné que les ions de métaux alcalins (Na, K) deviennent facilement des ions mobiles dans la couche isolante, les performances du dispositif d'origine sont réduites ;Des éléments tels que l'uranium (U) et le titane (TI) seront libérés par des rayons X α, entraînant une panne douce des appareils ;Les ions fer et nickel provoqueront une fuite d’interface et une augmentation des éléments oxygène.Par conséquent, dans le processus de préparation de la cible de pulvérisation de molybdène, ces impuretés doivent être strictement contrôlées afin de minimiser leur teneur dans la cible.
2. Taille des grains et répartition granulométrique
Généralement, la cible de pulvérisation de molybdène est une structure polycristalline et la taille des grains peut varier du micron au millimètre.Les résultats expérimentaux montrent que le taux de pulvérisation d'une cible à grains fins est plus rapide que celui d'une cible à grains grossiers ;Pour la cible présentant une petite différence de granulométrie, la répartition de l’épaisseur du film déposé est également plus uniforme.
3. Orientation des cristaux
Étant donné qu'il est facile de pulvériser préférentiellement les atomes cibles dans la direction de l'arrangement d'atomes le plus proche dans la direction hexagonale pendant la pulvérisation, afin d'obtenir le taux de pulvérisation le plus élevé, le taux de pulvérisation est souvent augmenté en modifiant la structure cristalline de la cible.La direction cristalline de la cible a également une grande influence sur l’uniformité de l’épaisseur du film pulvérisé.Par conséquent, il est très important d’obtenir une certaine structure cible orientée cristalline pour le processus de pulvérisation cathodique du film.
4. Densification
Au cours du processus de revêtement par pulvérisation cathodique, lorsque la cible de pulvérisation à faible densité est bombardée, le gaz existant dans les pores internes de la cible est soudainement libéré, ce qui entraîne des éclaboussures de particules ou de particules cibles de grande taille, ou le matériau du film est bombardé. par des électrons secondaires après la formation du film, entraînant des éclaboussures de particules.L’apparition de ces particules va diminuer la qualité du film.Afin de réduire les pores du solide cible et d’améliorer les performances du film, la cible de pulvérisation doit généralement avoir une densité élevée.Pour la cible de pulvérisation de molybdène, sa densité relative doit être supérieure à 98 %.
5. Liaison de la cible et du châssis
Généralement, la cible de pulvérisation en molybdène doit être connectée au châssis en cuivre sans oxygène (ou en aluminium et autres matériaux) avant la pulvérisation, de sorte que la conductivité thermique de la cible et du châssis soit bonne pendant le processus de pulvérisation.Après la liaison, une inspection par ultrasons doit être effectuée pour garantir que la zone de non-liaison des deux est inférieure à 2 %, afin de répondre aux exigences de pulvérisation haute puissance sans tomber.
Heure de publication : 19 juillet 2022