Afin de soutenir l'industrie des capteurs MEMS piézoélectriques (pMEMS) à base de films et des composants de filtres radiofréquences (RF), l'alliage d'aluminium scandium fabriqué par Rich Special Material Co., Ltd. est spécialement utilisé pour le dépôt réactif de films de nitrure d'aluminium dopés au scandium. .
Les matériaux piézoélectriques à couches minces sont de plus en plus utilisés dans les équipements électroniques automobiles, industriels et personnels.Les applications incluent des capteurs d'empreintes digitales et des dispositifs de reconnaissance gestuelle basés sur PMT, des microphones MEMS, des capteurs chimiques à résonateur et des capteurs médicaux.De plus, les films de nitrure d'aluminium dopés au scandium sont de plus en plus nécessaires pour réaliser des filtres RF pour les applications de réseau 5G.Dans le même temps, la quantité d’alliage d’aluminium et de scandium augmente.
Propriétés de l'alliage Al Sc
Homogénéité chimique très constante dans tout l’alliage
Homogénéité chimique du film très constante tout au long de la durée de vie de la puce et de l'alliage
Pureté>99,9 %, faible teneur en oxygène, faible teneur en polluants critiques
Contrôlez strictement la microstructure pour obtenir les meilleures performances de pulvérisation
Alliage entièrement dense moulé sous vide avec une faible adhérence, une faible variabilité et une faible granularité
Rich Special Material Co., Ltd. prend en charge une variété de services de fusion d'alliages, de personnalisation de cibles et de R&D.
Heure de publication : 11 novembre 2022