Le consultant technique de RSM partagera avec vous les avantages des cibles de pulvérisation magnétron cylindriques et planaires ?Par rapport à d'autres cibles de pulvérisation magnétron, les cibles de pulvérisation magnétron cylindriques et planaires conservent les avantages d'une bonne uniformité de revêtement des cibles planaires rectangulaires et peuvent maximiser l'utilisation des cibles des deux manières suivantes :
(1) Lorsque les deux groupes (quatre) de creux annulaires sur la surface de la cible atteignent une certaine profondeur, le noyau cible (partie magnétique) peut pivoter de 45 ° par rapport au tube cible, de sorte que les autres zones du tube cible qui n'ont pas été corrodés peuvent être utilisés ;
(2) Lorsque le noyau cible de la cible de pulvérisation magnétron cylindrique et planaire est conçu comme un noyau cible rotatif (le noyau cible tourne pendant la pulvérisation), la surface de la cible peut être pulvérisée uniformément couche par couche sans piqûres.À ce stade, la cible sera utilisée le plus efficacement possible et le taux d'utilisation de la cible peut atteindre 50 % à 60 %. Lorsque le matériau cible est un métal précieux, cela revêt évidemment une grande importance.
En utilisant le principe de l'aimant avec sabot polaire dans une cible de pulvérisation magnétron cylindrique coaxiale pour résoudre le problème du champ magnétique final, la cible plane rectangulaire peut être transformée en une cible de pulvérisation magnétron cylindrique et planaire, la cible peut maximiser le taux d'utilisation de la cible. tout en conservant la bonne uniformité du revêtement de la cible plane rectangulaire afin d'améliorer les avantages économiques.
Heure de publication : 04 juillet 2022